يسمح فرن نمو بلورات SiC، في جو محدد، لمواد كربيد السيليكون بالخضوع لنقل الطور البخاري والتفاعلات الكيميائية وما إلى ذلك، مما يؤدي في النهاية إلى نمو سبائك السيليكون أحادية البلورة عالية الجودة من SiC على البذرة.
الحجم
6 بوصة/8 بوصة
التقوس أثناء نمو البلورات
1-3 مم
نظام التحكم الذكي عالي الدقة، خدمة مخصصة
التحكم عالي الدقة متعدد المناطق
استخدام نظام التحكم الذكي لتحقيق التحكم المركزي عن بعد
إنتاجية عالية، استقرار عالي واستغلال أمثل للمساحة
تتوفر حلول مخصصة
برنامج محاكاة احترافي
استخدام STR، برنامج محاكاة احترافي، لمحاكاة دورة النمو الكاملة لكتلة SiC، وتقديم حلول نمو شاملة للعملاء.
التحكم الذكي
استخدام نظام التحكم الذكي لتحقيق التحكم المركزي عن بعد.
قابل للتخصيص
تقديم طريقة تسخين مخصصة (تسخين مقاومة / تسخين بالحث) حسب الحاجة.
خدمة العملاء
تقديم خدمات تصميم وتحسين المنطقة الساخنة للعملاء، والتعاون لمواجهة تحديات العملية.