تم تطوير أداة FTB300FP CMP بالتعاون بين شركة JieXin وفريق فني ياباني. صُممت هذه المعدات لتحقيق إنتاجية عالية وفعالية من حيث التكلفة، مع تحسين أداء التسوية لتلبية المتطلبات الفنية الأعلى (GBIR وSFQR).
حجم الرقاقة
≤12 بوصة
GBIR
<100 نانومتر
التحميل والتفريغ
التجفيف والدخول والخروج الرطب
بديل محلي عالي الجودة حسب الاختيار
بديل محلي عالي الجودة يعتمد على الموثوقية والاستقرار
إنتاجية عالية
مجهزة بـ 8 رؤوس تلميع و 3 محطات عمل لتعزيز الإنتاجية.
تكامل العمليات المرنة
يمكن دمج الروبوت المفرغ مع نظام التنظيف لمعالجة التجفيف.
التكلفة الإجمالية المنخفضة
تعتبر المواد الاستهلاكية سهلة الاستبدال، ولها عمر خدمة طويل، وبالتالي تقلل من وقت التوقف عن العمل.