منتجات أشباه الموصلات
ملمع نهائي للويفر 300 مم JX300FP
JX300FP هي أداة تلميع CMP رائدة بقياس 12 بوصة، طُوّرت بناءً على تقنية تلميع CMP المتقدمة من ATW JX، استجابةً لمتطلبات الصناعة المتطورة. هذه الأداة مُجهزة بوحدات تلميع عالية الأداء، وتدمج تقنية تنظيف مُدمجة مُتطورة، مما يُحقق نتائج تنظيف فائقة. كما تُمكّن من تسوية الركائز على مستوى النانومتر، مُلبيةً بذلك متطلبات تقنيات المعالجة المُتقدمة.
-
حجم الرقاقة
≤12 بوصة
-
جيبير
<100 نانومتر
-
رأس التلميع
3-8 مناطق
-
تحميل وتفريغ
جفاف في جفاف خارج
تجاوز الأساليب التقليدية
دمج التلميع والتنظيف في عملية واحدة، والجمع بين المزايا التكنولوجية، مع التركيز على الاستقرار كحجر أساس والابتكار كأحدث التقنيات
-
إنتاجية عاليةيتميز بوجود 8 رؤوس تلميع و3 محطات عمل لتعزيز الإنتاجية. -
رأس تلميع متعدد المناطقضغط قابل للتعديل من 3 إلى 8 مناطق، مما يتيح التحكم عالي الدقة في ملف السطح. -
وحدة تنظيف متكاملةمزودة بتقنية تنظيف متقدمة، لضمان معالجة جافة قبل وبعد العملية.